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Q. 반도체 bosch process 공정 시 직무 하는일

반도체김예지

예를들어 dry etch공정에서 Bosch process 공정을 진행한다고 하면 passivation과 etching을 반복할때, passivation 증착부분이라던가 scallop해결로 산화를 진행한다했을때 그건 다른 증착이나 산화부서와 협업을 해서 하나요? 아니면 모든 관련 공정은 dry etch공정팀에서 일괄적으로 처리하나요?


2020.04.24

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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