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Q. PEB 관련 질문 드립니다.

징옹닝

PEB와 관련한 질문 드립니다. PEB는 노광 시 형성된 PAC를 확산시킴으로써 패턴을 더욱 명확하게 해주고, 현상의 선택비를 높여주는 역할을 하는 것으로 알고 있습니다. 1. 그렇다면, DNQ 기반의 PR에는 PEB의 긍정적 효과가 미미하다고 봐도 될까요? 2. 오히려 PEB가 PR의 기계적 안정성을 떨어트릴 수 있나요?


2025.05.25

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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