sputter를 사용하여 증착한 박막 두께를 조절할 때 변수로 시간을 조절하기도 하나요? 아니면 대부분 DC power를 조절해 목표 두께를 맞추나요??
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박막 두께를 조절하는 방법은 다양합니다. 일반적으로는 DC power를 조절하여 증착 속도를 조절하고, 증착 시간을 일정하게 유지하여 목표 두께를 달성합니다. 또는 DC power와 증착 시간을 모두 조절하여 두께를 조절할 수도 있습니다. 또는 증착 중간에 샘플을 회전시키는 등의 방법으로도 두께를 조절할 수 있습니다. 따라서 시간을 조절하는 것도 가능하지만, 주로 DC power를 조절하는 것이 일반적입니다.
2024.03.12