직무 · 모든 회사 / 반도체설계

Q. e-beam evaporator 장비에 관한 질문입니다.

1. Turbo pump를 chamber을 열때마다 off 하는것
2. Turbo pump를 chamber을 열때마다 off 하지 않는것

둘중에 뭐가 turbo pump에 좋을까요?

저는 turbo pump를 자주 on/off를 반복하면 오히려 장비에 안좋다고 생각을 하고 chamber을 open할 때 main valve만 close하며 사용하는데 이게 잘못된 것 인가요?

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2021.08.23

답변 3
w
whocanstopmenow
코부사장 ∙ 채택률 66%

펌프는 웬만하면 끄시면 안됩니다... 아이솔 밸브 뜨로틀 밸브만 클로징 하는거에요

2021.08.29

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니
니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

Pump는 아주 특수한 경우가 아니면 끄지 않는게 원칙입니다.
언급하신데로 챔버 오픈시 펌프 자체를 오프시키는게 아니라 밸드만 클로징 시킨다는 개념이 맞습니다.

2021.08.23

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하
하이닉스 고인물
코상무 ∙ 채택률 76%

안녕하세요 멘티님,

펌프를 끄고 켜는것보다 밸브를 이용해서 공간자체를 차단합니다. 우선 차단이 안된상태로 챔버를 오픈한다면 터보펌프에 큰입자들이 부딪히면서 큰데미지를 가하기때문에 꼭 밸브는 잠그고 오픈해야합니다.

2021.08.23

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