Etch 공정기술 직무에서 CD 관리는 매우 중요한 역할을 합니다. CD( Critical Dimension)란 반도체 제조 공정에서 중요한 치수를 의미하며, 이를 관리하는 것은 제품의 품질을 결정하는 중요한 요소 중 하나입니다.

Line CD와 Space CD는 모두 제품의 치수를 나타내는 중요한 지표입니다. 하지만 두 가지 중 어떤 걸 중점으로 평가하는지는 공정의 특성에 따라 다를 수 있습니다. 예를 들어, 반도체 제조 공정에서는 Line CD가 더 중요한 역할을 합니다. 이는 반도체 칩의 선 형태가 결정되는 중요한 요소이기 때문입니다. 따라서 이러한 경우에는 Line CD 관리에 더 많은 노력을 기울일 것입니다.

반면, 반도체 패키징 공정에서는 Space CD가 더 중요한 역할을 합니다. 이는 반도체 칩을 패키징하는 과정에서 공간이 매우 중요하기 때문입니다. 따라서 이러한 경우에는 Space CD 관리에 더 많은 노력을 기울일 것입니다.

결론적으로, Etch 공정기술 직무에서는 Line CD와 Space CD 모두 중요한 지표이지만, 공정의 특성에 따라 어떤 지표에 더 많은 노력을 기울일지는 다를 수 있습니다. 따라서 이를 평가하는 것은 해당 공정을 담당하는 전문가들의 판단에 따라 달라질 수 있습니다.

line cd가 bar cd 맞을까요??

space와 bar 말씀이라면 둘다 중요합니다.

각 스텝마다 space가 기준일수도 bar가 기준일수도 있습니다.

보통 line과 line사이의 space cd를 측정하고 , 포토맞은곳에 에치가 진행되면 space가 생기므로 이를측정하게됩니다.

그때그때 다릅니다
패턴에 따라서 라인 패턴이 중요한 공정이 있는반면에 space 패턴이 중요한 공정도 있습니다

안녕하세요, 멘티님.

각 step 마다 어떤 것을 중점으로 관리하는지 상이합니다. 각 step 별로 Line or Space로 관리해야 용이한지에 대해서는 보통 process flow 상 해당 step이 어떤 부분을 만드는지에 따라 정해진다고 보시면 될 것 같습니다.

감사합니다.

안녕하세요.

어느 공정 이후에 따라 달라질거 같은데 cd는 전반적으로 보는 걸로 알고 있습니다.

도움이 되셨다면 채택 부탁드립니다.