1. 가중치를 부여하는 것은 일종의 보정 계수를 적용하는 것으로, misalign이 발생한 위치에 대해 다른 위치보다 더 큰 보정을 적용하는 것을 의미합니다. 예를 들어, x축 값이 0에 가깝게 보정되어야 할 경우, x축의 가중치를 더 크게 설정하여 보정하게 됩니다.

2. 값을 보정할 수 없는 경우에도 웨이퍼를 폐기하는 것은 아닙니다. 다른 방법을 사용하여 보정을 시도하거나, 해당 웨이퍼의 일부 영역만 사용하는 등의 조치를 취할 수 있습니다.

3. misalign 발생의 가장 큰 요인은 장비의 정확도와 작업자의 기술 수준입니다. 장비가 정확하게 보정되어 있지 않거나 작업자의 미숙한 조작으로 인해 발생할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 자체의 품질이나 공정 중에 발생한 오차 등도 misalign의 원인이 될 수 있습니다.

안녕하세요.
1. misalignment 발생시 mask와 wafer간에 overlay 백터값에 변화를 준다는 뜻입니다.
euv만 해도 수 개 정도의 미러가 있습니다.

2. 불량 해결이 안되어서 다이가 전부 죽어버리면 폐기해야하지않을까요? 보통은 그렇진 않은 것 같습니다.

3. 인장력의 변화, 장비 상 한계, 렌즈 온도변화 여러가지입니다.

1.x, y축값에 offset값 즉 강제로 수정값을 넣어주어서 매칭한다는뜻입니다.

2. 그런식으로 다 쥭이면 손해가막대하겟죠 ㅎㅎ 살리려고 공정엔지니어들이 여러 업무를 많이 진행합니다.

3. 포토노광기 의 센서가흔들릴수도있고 빔조사가 잘못될수도있고 pr물성에문제가잇을수도있고 여러다양한 이슈들이 존재합니다~

안녕하세요.

1. 장비에 특정 값으로 입력되었다고 할지언정 실제 해당 위치에 떨어지는 것은 아닙니다. 장비가 정확한 위치에 노광을 할 수 있도록 보정값을 메겨주게되며, 약간의 조정값이라고 보면 됩니다.

2. 보통 REWORK이라고 해서 해당 PR을 제거한 후에 다시 포토공정을 진행하는 경우가 있습니다.

3. 애초에 웨이퍼가 노광 시스템에 들어오기 전 잘못 전달되는 경우, 순간 진동, 미세한 흔들림, 전기 및 통신 문제 등 다양합니다.

1. 간단히 설명하면 미스얼라인이 발생해서 x로 +2, y로 -1 틀어졌다면 다음진행때는 패턴위치를 x로 -2 , y로 +1만큼 보정해서 찍는 개념입니다.

2. 이미증착되어있는 배선과 rework,reprocess에 필요한 에천트,스트리퍼와의 반응성에 따라 불가할수있습니다. 또는 pr을 경화시키는 공정이라면 에천트로 제거를 못시킬수있습니다.

3. 이건 원인이 너무많네요 대부분이 설비공차나 calibration오류, overlay오계측 등등 정말 많습니다