Spotfire와 AI를 활용한 반도체 공정 data 분석

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Spotfire와 AI를 활용한 반도체 공정 data 분석

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01 공정 엔지니어에게 Spotfire가 왜 중요한가?

Spotfire란 무엇인가?

00:13:51

현업에서 Sporfire AI 활용

00:06:45

우리가 앞으로 배울 것들

00:06:15

02 Spotfire Tool 설치

Spotfire tool 설치

00:05:37

Spotfire 기본 설명(data input)

00:08:02

과제자료

Spotfier 설정 알아보기

00:07:38

03 현업 엔지니어처럼 Spotfire로 데이터 시각화하기

현업에서 주로 다루는 data

00:14:16

Scatter Chart

00:05:21

과제자료

Bar Chart

00:06:44

과제자료

Box Plot Chart

00:04:36

과제자료

Distribution Chart

00:11:01

과제자료

Cross Table

00:03:24

04 Spotfire를 활용한 Fab 데이터 모니터링

fab data 모니터링이란?

00:13:13

Fab data Drawing

00:04:42

과제자료

[실습과제1] Fab data Drawing 소개

00:00:57

과제자료

[실습과제1] Fab data Drawing 문제풀이

00:04:00

Spotfire를 활용한 Fab data monitoring

00:13:39

[실습과제2] Fab data monitoring 소개

00:01:17

[실습과제2] Fab data monitoring 문제풀이

00:06:57

Multi chart monitoring

00:10:58

[실습과제3] Multi chart monitoring 소개

00:01:17

과제자료

[실습과제3] Multi chart monitoring 문제풀이

00:08:07

05 Spotfire를 활용한 SPC 기반 공정 모니터링

공정 관리의 기본 - Target, Spec

00:10:40

공정 변동의 이해 - SPEC 관리

00:06:49

과제자료

Spotfire로 Control limit 산출하기

00:06:05

[실습과제4] Spotfire로 Control limit 산출하기 소개

00:00:33

과제자료

[실습과제4] Control limit 산출하기 문제풀이

00:02:51

Cp와 Cpk로 보는 공정 능력

00:06:23

Spotfire로 Cp, Cpk 공정 능력 산출하기

00:08:38

과제자료

Spotfire로 장비별 공정 능력 산출하기

00:06:27

[실습과제5] Spotfire로 장비별 공정 능력 산출하기 소개

00:00:34

과제자료

[실습과제5] Spotfire로 장비별 공정 능력 산출하기 문제풀이

00:08:40

06 Spotfire를 활용한 AI Fab data monitoring

양산 간 SPEC over 자동 판별 프로그램 만들기

00:12:41

과제자료

[실습과제6] SPEC over 자동 판별 프로그램 소개

00:00:52

과제자료

[실습과제6] SPEC over 자동 판별 프로그램 문제풀이

00:07:17

양산 간 이상점 자동 판별 프로그램 만들기

00:16:10

과제자료

[실습과제7] 양산 간 이상점 자동 판별 프로그램 만들기 소개

00:01:00

[실습과제7] 양산 간 이상점 자동 판별 프로그램 만들기 문제풀이

00:05:07

과제자료

Cp. Cpk 자동 계산 프로그램 만들기

00:14:06

과제자료

[실습과제8] Cp. Cpk 자동 계산 프로그램 만들기 소개

00:02:01

과제자료

[실습과제8] Cp. Cpk 자동 계산 프로그램 만들기 문제풀이

00:11:43

07 현업 엔지니어처럼 공정 평가하는 방법

공정 개선은 왜 해야 하고 누가 하는가?

00:12:27

공정개선은 어떻게 이루어지는가?

00:15:36

엔지니어처럼 Split table 작성하기

00:10:37

FEM의 목적과 FEM에서 얻을 수 있는 데이터

00:10:39

FEM을 통한 최적의 공정 조건 확보하기

00:07:08

과제자료

[실습과제9] FEM을 통한 최적의 공정 조건 확보하기 소개

00:00:33

과제자료

[실습과제9] FEM을 통한 최적의 공정 조건 확보하기 문제풀이

00:03:07

08 Spotfire의 AI를 활용한 공정 평가와 결과 해석 방법

Matrix 평가와 결과 해석

00:03:53

과제자료

다중 회귀 분석 방법(반응 표면 분석)

00:07:38

Spotfire를 활용한 반응 표면 분석하기

00:14:52

과제자료

[실습과제10] Spotfire를 활용한 반응 표면 분석하기 소개

00:00:32

과제자료

[실습과제10] Spotfire를 활용한 반응 표면 분석하기 문제풀이

00:03:38

반응표면 분석 기반 공정 예측과 최적 조건 찾기

00:12:25

[실습과제11] 반응표면 분석 기반 공정 예측과 최적 조건 찾기 소개

00:01:02

[실습과제11] 반응표면 분석 기반 공정 예측과 최적 조건 찾기 문제풀이

00:09:47

09 Spotfire의 AI를 활용한 수율 유의차 분석 방법(Commonallity)

Commonallity란 무엇인가?

00:08:09

ANOVA 분석 방법이란?

00:10:36

과제자료

ANOVA 분석을 활용한 인자 별 영향력 확인하기

00:14:03

과제자료

[실습과제12] ANOVA 분석을 활용한 인자별 영향력 확인하기 소개

00:00:30

과제자료

[실습과제12] ANOVA 분석을 활용한 인자별 영향력 확인하기 문제풀이

00:03:18

ANOVA 분석을 이용한 Commonality(수율 열화 인자 추출)

00:09:23

[실습과제13] ANOVA 분석을 이용한 Commonality(수율 열화 인자 추출) 소개

00:00:24

과제자료

[실습과제13] ANOVA 분석을 이용한 Commonality(수율 열화 인자 추출) 문제풀이

00:03:27

10 Spotfire의 AI를 활용한 기생 CAP Modelling

PEX란 무엇인가?

00:04:31

R,C Modeling의 어려움

00:05:04

Spotfire를 활용한 기생 CAP Modeling 해보기

00:11:33

과제자료

[실습과제14] Spotfire를 활용한 기생 CAP Modeling 해보기 소개

00:01:16

과제자료

[실습과제14] Spotfire를 활용한 기생 CAP Modeling 해보기 문제풀이

00:02:44

강의 정리

00:04:11