01. 취업 준비를 막 시작하여 기본적인 지식이 없는 취업 준비생을 위해 수율의 중요성과 수율의 기본적인 개념에 대해 설명합니다.

수율의 개념을 배웠기 때문에 현업에서 수율이 어떻게 계산 되는지를 학습하고 직접 수율을 구해 볼 수 있는 경험을 할 수 있습니다.

02. 제품 개발 간 공정 엔지니어가 사전에 수율을 확보하기 위해 필히 해야 하는 업무들을 경험합니다.

제품 개발 간 공정 엔지니어가 사전에 수율을 확보하기 위해 필히 해야 하는 두 가지 업무를 설명합니다. 첫번째로 계측 값의 Target과 Spec을 합리적으로 설정하여 Fail rate를 control하는 것을 배웁니다. 두번째로 계측 값을 정확하게 Targeting 하기 위해 parameter를 control하여 레시피를 최적화 하는 것을 배웁니다. 이 두 가지 역량을 통해 수율을 계측을 통해 확보하는 법을 배울 뿐 아니라 최적의 레시피 확보를 통해 수율을 개선 하는 방법을 배울 수 있습니다.

03. 제품 양산 전, 양산 간 수율확보와 개선에 대해서 실습을 통해 배우고, 계측 엔지니어와 품질 엔지니어, 공정설계 엔지니어 필요 역량을 갖춥니다.

제품 개발 간 계측 엔지니어가 계측의 정합성을 확보하는 방법을 설명합니다. CD와 두께를 Split하여 시료를 제작하고 이를 통해 계측 값과 correlation하여 정합성을 확보하는 방법을 학습합니다. 이를 통해 정확한 physical 구조체를 형성하기 위해 Fab에서 관리해야 하는 계측 Target 값을 설정하는 것을 배울 수 있습니다. 양산이 들어가기 전 수율을 선제적으로 확보하기 위해 우리 제품의 공정 마진을 확보하여야 합니다. 양산 간 공정 산포가 발생하는 것은 필연적입니다. 공정 산포가 발생하여도 특성의 변화가 적은 공정일수록 양산에 유리합니다. 이러한 공정을 양산 전 확보하기 위해 FEM과 Split/Cliff 평가를 진행하여 공정 마진을 확보하는 방법을 배울 수 있습니다. 또한, 엔지니어로서 공정 개선 실험을 설계 하는 방법을 배워 합리적인 실험을 설계하는 방법을 배울 수 있습니다.

04. 수율관리, 수율개선 방법을 학습하고 수율 개선 실습 경험을 쌓습니다.

정설계 엔지니어가 양산 간 수율을 관리하는 세가지 방법을 배웁니다. 첫 번째는 Trade off 관계를 고려하여 공정 마진을 확보하는 방법을 학습합니다. 두 번째는, 수율 drop을 야기하는 공정을 mass한 양의 fab data에서 찾는 방법을 학습합니다. 마지막으로 세 번째는 Defect에 의한 수율 drop의 원인을 찾고 이를 개선하는 방법에 대해 학습합니다. 해당 챕터를 통해 데이터 시각화 능력을 쌓을 뿐 아니라 수율 개선 경험을 쌓을 수 있습니다.