1회차
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01
수율은 왜 중요한가?
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02
수율이란 무엇인가?
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03
수율에 영향을 주는 요인
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04
수율 개선 경험의 한계
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05
강의 Contents 소개
2회차
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01
제품에 진행되는 TEST
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02
Item 별 Pass rate와 Fail rate
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03
엑셀을 활용한 수율 계산 방법
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과제
[실습 과제 1] 엑셀을 활용한 반도체 수율 계산하기
3회차
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01
신규 공정 셋업 - 공정흐름도, Target
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02
합리적인 Target과 Spec 설정의 중요성
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03
Target 값에 따른 fail rate 계산
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04
[실습과제 2] 엑셀을 활용한 Target과 Spec 설정하기
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05
공정 기술 엔지니어의 신규 레시피 셋업
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06
다중 선형회귀 분석을 이용한 레시피 튜닝
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07
[실습과제 3] 엑셀을 활용한 Targeting 실습
4회차
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01
계측은 왜 필요한가?
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02
계측 정합성이란?
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03
계측 정합성을 확보하는 방법
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과제
[실습과제 4] 계측 정합성 확보를 통한 Target 설정 + [프로젝트과제 1]
5회차
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01
공정 마진이란?
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02
공정 마진 확보 방법 - FEM
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과제
[실습과제 5] 엑셀 FEM data를 활용한 CD Targeting 실습
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04
공정 마진 확보 방법 - Split 평가, Cliff 평가
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05
공정 개선 실험 설계 방법
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06
[실습과제 6] Cliff 평가를 통한 공정 마진 확보 실습
6회차
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01
양산 전 갖춰야 하는 두가지 - 특성 Targeting, 신뢰성 확보
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02
신뢰성 검증 방법 - 가속 수명 시험
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03
신뢰성 항목 - TDDB, HVS
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과제
[실습과제 7] 반도체의 수명 예측하기
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05
특성 검증 방법 - EDS TEST
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06
CDF란 무엇인가?
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07
CDF 구하는 방법
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08
합리적인 EDS TEST의 중요성
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과제
[실습과제 8] EDS TEST spec 변경을 통한 수율 개선
7회차
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01
양산 간 수율은 왜 떨어지는가?
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02
공정 능력 기준 : Cp, Cpk
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과제
[실습과제 9] Cp와 Cpk 산출을 통해 양산 설비 선정하기
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04
FDC에 의한 수율 Drop
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과제
[실습과제 10] 엑셀 data 분석을 통해 수율 drop parameter 분석
8회차
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01
Trade off를 고려한 공정 타겟 최적화
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과제
[실습과제 11] 엑셀 data를 이용한 공정 타겟 최적화
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03
공정에 의한 수율 drop 원인 찾기 (Commonality)
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과제
[실습과제 12] 엑셀 data를 이용한 수율 drop 원인 찾기 (Commonality)
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05
Defect에 의한 수율 drop 유발 공정 찾기
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과제
[실습과제 13] 엑셀 data를 이용한 Defect 유발 공정 찾기
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07
YIR이란 무엇인가?
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과제
[실습과제 14] 수율 Risk Defect 찾기 + [프로젝트과제 2]
9회차
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01
수율 개선의 어려움
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02
마지막으로 드리고 싶은 말