반도체 PECVD 공정개발 실무를 통해 증착 공정 엔지니어가 되어보자 후기

PECVD 장비의 도면과 공정 레시피에 대해 gas의 나뉨여부와 필요 여부, 파티클 이슈 어떤 공정 레시피에서 생기고 해결해야하는지에 대해 배울 수 있었습니다.