Q. 반도체 장비 관련 질문이 있습니다.
안녕하세요, 반도체 장비사 재직자분들께 질문이 있습니다.
반도체 etching장비 공부 중에
Lam research사의 Flex 3x 제품과
TEL사의 Textras vigus 제품의 플라즈마 소스가 무엇인지 아무리 찾아도 알 수가 없어서요.
혹시 관련 재직자 분들 중 각 제품이 icp인지 ccp인지 알고 계신분이 계실까요?
안녕하세요, 반도체 장비사 재직자분들께 질문이 있습니다.
반도체 etching장비 공부 중에
Lam research사의 Flex 3x 제품과
TEL사의 Textras vigus 제품의 플라즈마 소스가 무엇인지 아무리 찾아도 알 수가 없어서요.
혹시 관련 재직자 분들 중 각 제품이 icp인지 ccp인지 알고 계신분이 계실까요?