직무 · SK하이닉스 / 공정설계

Q. 단면/표면 분석으로 thermal migration을 진단할 수 있나요?

금속의 thermal migration을 측정기기나 분석기기로 진단할 수 있는지 궁금합니다.

예를 들어 단면을 분석했는데 spike의 존재를 눈으로 볼 수 있다던지, 표면이 너무 울퉁불퉁하다던지, 혹은 thermal migration이 진행됐을 때 특징적인 iv curve나 다른 특성이 나타나는지 등이 궁금합니다.

그리고 측정/분석기기로 진단할 수 있다면, 어떤 기기로 가능할지, 어떻게 불량 원인을 분석하는지 궁금합니다.