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Q. 반도체, 박막,증착 장비 개발방향

안녕하세요 선배님들.
취업준비를 하던 도중 논문을 읽게 되었는데,
반도체 CVD 장비의 개발방향이
1. 저결함 /고수율 2. 박막화/고품질화 3. Lost cost 4. 환경친화 쪽으로 개발 방향을 잡고 진행한다는데,


1. 저결함과 고품질화는 같은 방향이 아닌가. 궁금해서 여쭤봅니다!
2. 혹시 박막화? 는 어떤의미인지도 궁금합니다.