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Q. 반도체 식각 장비 관련

식각 장비 안에 Al2O3같은 경도가 센 하드 마스크를 내장 시켜 굳이 증착후 photo공정을 하는 방안은 어떨지 궁금합니다.
하드 마스크는 3d printing으로 만드는데, 그 기술이 나노급 패턴을 구현할 수 있는지도 궁금합니다