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Q. 반도체 피치,슬릿 차이

반도체 책을 통해서 슬릿의 크기가 감소할수록 회절된 광이 렌즈 바깥으로 모두 빠져나간다고 배웠는데 공정 실습할 때에는 피치가 빛이 들어오는 양을 결정해서 가장 중요하다고 배웠습니다.
1. 슬릿과 피치의 차이점과
2. 술릿의 폭이 좁을수록 회절이 심해지는데 슬릿이 아니라 피치가 중요한 이유가 궁금합니다.
3. 피치=line+space인데
Slit=space인가요?

답변 1
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니꿈은뭐니
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1. 슬릿은 마스크에서의 패턴폭, 즉 빛이 빠져나갈수 있는 공간이고 피치는 이게 실제 매질에 구현된 폭을 의미합니다.
2. 슬릿도 중요하고 피치도 중요합니다. 피치를 결정짓는게 결국 슬릿입니다.
3. post PR의 경우는 슬릿이 space가 되고 Nega PR의 경우에는 line이 됩니다.


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