Q. 반연 공정개발, 제기담 공정기술
안녕하세요. 직무 타겟을 놓고 고민 중입니다. 결론부터 말씀드리면, 신제품이 양산 이관 시, 반연 공정개발팀에서 몇 퍼센트 정도 확인한 후 양산으로 넘기나요? 반연 공정개발의 경우 반연 공설에서 개발한 새로운 스킴에 적용하는 박막특성, 옥사이드 특성 등, 스펙을 설계해 넘겨주면 이를 구현할 단위 공정 레시피를 개발하는 것으로 알고 있습니다. 제기담 공정 기술의 경우 양산으로 이관된 공정 레시피에 대해 미세 조정과 이슈 해결을 하며 공정 레시피 변경보다는 수정에 가까운 일을 하고 있는 것으로 알고 있습니다.
제가 고민 중인 것은, 초기 수율의 안정화는 반연 공정개발인지 제기담 공정 기술인지에 대해 궁금합니다.
감사합니다.
Q. 마진 관련 실무적으로 궁금한 부분입니다
안녕하세요 공정엔지니어 신입사원입니다.
사실 실무를 많이 해보지 않아서, 마진 개념이 직관적으로 와닿지가 않습니다.
예를 들면, 최근에 한 막질의 오버에칭 문제가 있었는데 Etch 마진문제다? 이런식으로 표현하더라구요
그런데 그 마진 문제는 Etch rate가 높기 때문이며, 이를 낮추는 방향으로 테스트를 했습니다.
Etch rate가 높으면 공정 안정성이 떨어질 수 있다는 것은 이해했습니다. 하지만, 그것이 마진과 어떤 관계가 있는건지 정확히 모르겠습니다.
예를 들어서, 마진에 포커싱을 해서 이슈를 해결하려면
두께 불량이 생겼는데 -> 마진 자체의 문제다? -> 마진 밖에서도 소자 특성이 크게 열화되지 않음을 평가? 이런 방향으로 진행되는 건가요? 선배님들 많은 도움주시면 감사합니다. 사실 이해가 잘 안돼서, 예시도 같이 들어주시면 정말 감사합니다.
Q. 삼전 반연 공정 개발
반연 공정 개발 직무 수행 시 소자적 지식이 있다면 어떤 점이 유리할까요?
여기서 말씀드리는 공정 개발은, 새로운 스킴의 단위 공정 레피시를 도출하는 것으로 알고 있습니다.