Q. 웨이퍼 내 면저항
안녕하세요 moscap에서 al을 증착 후 4 point probe로 면저항을 측정한다고 했을 때
하나의 웨이퍼 내에서는 면저항이 다 똑같은지 궁금합니다!!
만약에 편차가 있다면, 주로 어떤 이유로 발생하는지도 알려주세요!!
안녕하세요 moscap에서 al을 증착 후 4 point probe로 면저항을 측정한다고 했을 때
하나의 웨이퍼 내에서는 면저항이 다 똑같은지 궁금합니다!!
만약에 편차가 있다면, 주로 어떤 이유로 발생하는지도 알려주세요!!
1. 박막의 깊이가 다를 경우: 박막의 깊이가 다르면 면저항이 다르게 나타날 수 있습니다.
2. 재료의 불순물 농도가 다를 경우: 불순물의 농도가 다르면 재료의 물성이 달라져 면저항이 다르게 나타날 수 있습니다.
3. 전기 환경이 다를 경우: 전기 환경에 따라 면저항이 다르게 나타날 수 있습니다. 즉, 전압, 온도, 습도 등이 다르면 면저항이 다르게 나타날 수 있습니다.
따라서 웨이퍼 내의 면저항이 모두 같지 않을 수 있으며, 이는 위와 같은 이유로 발생할 수 있습니다.
2023.03.12