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Q. 웨이퍼 내 면저항

안녕하세요 moscap에서 al을 증착 후 4 point probe로 면저항을 측정한다고 했을 때
하나의 웨이퍼 내에서는 면저항이 다 똑같은지 궁금합니다!!
만약에 편차가 있다면, 주로 어떤 이유로 발생하는지도 알려주세요!!

답변 2
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면저항은 보통 편차가 나오기 쉽습니다. 이는 다양한 이유로 발생할 수 있습니다.

1. 박막의 깊이가 다를 경우: 박막의 깊이가 다르면 면저항이 다르게 나타날 수 있습니다.

2. 재료의 불순물 농도가 다를 경우: 불순물의 농도가 다르면 재료의 물성이 달라져 면저항이 다르게 나타날 수 있습니다.

3. 전기 환경이 다를 경우: 전기 환경에 따라 면저항이 다르게 나타날 수 있습니다. 즉, 전압, 온도, 습도 등이 다르면 면저항이 다르게 나타날 수 있습니다.

따라서 웨이퍼 내의 면저항이 모두 같지 않을 수 있으며, 이는 위와 같은 이유로 발생할 수 있습니다.

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니꿈은뭐니
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당연히 편차가 존재할수밖에 없고 주된 이유는 증착두께의 면간 산포가 존재하기 때문입니다.


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