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Q. 척 히터 점검 시, 주의 사항
반도체 설비 직무부트 캠프를 수행하며 척 히터의 표면 균일도 및 온도 균일도가 매우 중요한 것을 알게 되었습니다. 이러한 지식을 바탕으로 반도체 장비 셋업 업무를 진행하며 이러한 척 히터를 분해/결합 할 때 척 히터 보호를 위해 표면을 직접적으로 만지지 않으며 주의를 기울인 경험이 있습니다. 이 밖에 분해/결합 시 척 히터를 보호하기 위해 신경써야 할 요소는 어떤 것이 있을까요?
모호한 질문에도 친절히 답변주시면 감사하겠습니다. ㅎㅎ
1. 정전기 방지: 반도체 장비는 정전기에 민감하므로, 정전기 방지 장비를 착용하고 작업 환경을 정전기 방지 상태로 유지해야 합니다.
2. 적절한 도구 사용: 척 히터의 분해 및 결합 시 적절한 도구를 사용하여 손상을 방지해야 합니다. 비접촉식 도구를 사용하는 것이 좋습니다.
3. 온도 관리: 척 히터의 온도가 너무 높거나 낮지 않도록 주의해야 하며, 작업 전후에 온도를 확인하는 것이 중요합니다.
4. 청결 유지: 작업 공간과 척 히터의 표면을 청결하게 유지하여 이물질이 붙지 않도록 해야 합니다.
5. 정확한 조립: 부품을 조립할 때 정확한 위치에 맞추어 조립하고, 과도한 힘을 가하지 않도록 주의해야 합니다.
6. 기술 매뉴얼 준수: 제조사의 기술 매뉴얼이나 지침을 준수하여 작업을 진행하는 것이 중요합니다.
이러한 요소들을 고려하여 작업을 진행하면 척 히터의 성능과 수명을 유지하는 데 도움이 될 것입니다.
2024.11.22