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Q. 척 히터 점검 시, 주의 사항

반도체 설비 직무부트 캠프를 수행하며 척 히터의 표면 균일도 및 온도 균일도가 매우 중요한 것을 알게 되었습니다. 이러한 지식을 바탕으로 반도체 장비 셋업 업무를 진행하며 이러한 척 히터를 분해/결합 할 때 척 히터 보호를 위해 표면을 직접적으로 만지지 않으며 주의를 기울인 경험이 있습니다. 이 밖에 분해/결합 시 척 히터를 보호하기 위해 신경써야 할 요소는 어떤 것이 있을까요?
모호한 질문에도 친절히 답변주시면 감사하겠습니다. ㅎㅎ

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2024.11.22

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