직무 · 모든 회사 / 공정설계

Q. 패터닝 공정에서 etch bias

안녕하세요! 반도체 공정 실습을 다녀온 뒤 궁금한 점이 생겨 질문 남깁니다!
이론적으로 pitch가 작아질수록 etch bias는 커지나요? 작아지나요?
감사합니다!

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인기 사례
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