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Q. 펌프 사용하는 공정

8대 공정 중 펌프를 사용하는 공정은 뭐가 있을까요??

답변 3
두부르
코전무 ∙ 채택률 59%

반도체 공정에서 가장 중요한 것 중 하나가 진공입니다.

챔버나 용기의 진공 상태를 만들거나 유지하기 위하여 사용되는 펌프를 진공 펌프라 하죠 기기에서는 dry ethcer 설비에서 주로 사용되는 TMP와 Dry pump를 주로 설명하고 성능과 공정의 특성에 따라 TMP와 Cryo를 선택적으로 사용하면 됩니다.


채택
Infrastructure
코전무 ∙ 채택률 53%

증착 공정이 8대 공정 중 펌프를 사용하는 부분에 해당합니다.


채택
니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

8대공정 중 진공장비들은 전부 펌프를 사용한다고 보시면 됩니다.


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