두부르 농업회사법인닥더애그주식회사 코전무 ∙ 채택률 59% 답변 더보기 반도체 공정에서 가장 중요한 것 중 하나가 진공입니다.챔버나 용기의 진공 상태를 만들거나 유지하기 위하여 사용되는 펌프를 진공 펌프라 하죠 기기에서는 dry ethcer 설비에서 주로 사용되는 TMP와 Dry pump를 주로 설명하고 성능과 공정의 특성에 따라 TMP와 Cryo를 선택적으로 사용하면 됩니다.
챔버나 용기의 진공 상태를 만들거나 유지하기 위하여 사용되는 펌프를 진공 펌프라 하죠 기기에서는 dry ethcer 설비에서 주로 사용되는 TMP와 Dry pump를 주로 설명하고 성능과 공정의 특성에 따라 TMP와 Cryo를 선택적으로 사용하면 됩니다.
2022.05.31