대학생 고민 · 모든 회사 / 모든 직무

Q. Ar plasma treatment 방법

안녕하세요 현재 반도체에 대해 공부하고 있는 대학생입니다.
제가 이쪽 관련이 아니라 모르는게 참 많은데 몇가지 여쭤보고 싶습니다.
현재 tft 소자를 제작하고 있는데 채널층위에 패시베이션을 씌워놓은 상태입니다.
연구실에 있는 스퍼터 장비를 이용해 Ar plasma treatment를 진행하고 싶은데 gun target 열지 않고 프리 스퍼터링 하듯이 진행하면 될까요?
Flow rate 같은 것도 제가 설정하면 되는지 궁금핮니다.
논문을 참고하여 진행하려는 실험인데 실험 조건이 자세히 나와있지 않고 제가 아직 모르는게 많아 질문드립니다