직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. D기술팀 질문입니다. 에피탁시 성장관련입니다

안녕하세요 D기술팀에 희망하는 학생입니다.

제가 학부연구생당시 EPITAXY 방법으로 실험을 진행하였습니다.
알아보니

1. CVD=VPE(Vapor phase epitaxy)라고도 하는 맞는지 궁금합니다.

2. D기술팀에서만 Epitaxy 성장을 시키는지 궁금합니다. T기술팀은 해당 업무를 진행하는지 궁금합니다.

3. D기술팀에서 Epitaxy 공정을 진행한다면 주 목적은 무엇인지 궁금합니다.

4. 에피탁시 공정 후 현업에서 측정하는 data들과 장비 어떤것이 있는지 궁금합니다.

5. 에피탁시 실험을 진행하며 공정온도, ar가스 유량, 웨이퍼 위치, source의양 등 다양한 파라미터 인자들이 있었는데 현업에서도 동일하니 궁금합니다.

6. 8대공정에서 보면 deposition metal팀의 경우에는 sin등 절연막을 위에 ALD, PVD 등 방법으로 균일하게 증착하는 것으로 아는데 D기술팀에서 에피탁시 성장은 어떻게 활용되는지 궁금합니다. 또한 어떠한 공정이 이뤄진 후 에 진행되는지 궁금합니다.


제가 질문이 많았는데 귀한 시간 내주셔서 감사하고 긴글 읽어주셔서 감사합니다.
궁금한점이 너무 많았네요 ㅜㅜ
답변 부탁드립니다. 감사합니다!!!!!!!!!!!!

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2021.03.18

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