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Q. DHF 세정 과정

MOSFET 제작할 때 불산을 H2O로 희석한 것에 보통 몇 분정도 담구나요?
그리고 담구고 열로 가하나요?

DHF 세정 전체적인 과정이 어떻게 되나요ㅠㅜㅠ?

답변 1
황금파이프
코부사장 ∙ 채택률 80%

안녕하세요. 제품별로, 공정별로 DHF 처리 시간은 다 다릅니다. 또한 자세한 공정기술 레시피는 정말 극비이기 때문에(특허로도 출원 안합니다) 말씀드릴 수 없습니다.
다만, 클린공정 쪽으로 어필하고 싶으시면 세정의 종류, 습식세정의 종류 등을 공부하시길 바랍니다. 삼성전자나 하이닉스 반도체 관련 블로그 찾아보시면 좋은 내용 많습니다.


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