MOSFET 제작할 때 불산을 H2O로 희석한 것에 보통 몇 분정도 담구나요? 그리고 담구고 열로 가하나요?
DHF 세정 전체적인 과정이 어떻게 되나요ㅠㅜㅠ?
답변
1
황
황금파이프
삼성전자
코부사장
∙ 채택률 80%
안녕하세요. 제품별로, 공정별로 DHF 처리 시간은 다 다릅니다. 또한 자세한 공정기술 레시피는 정말 극비이기 때문에(특허로도 출원 안합니다) 말씀드릴 수 없습니다. 다만, 클린공정 쪽으로 어필하고 싶으시면 세정의 종류, 습식세정의 종류 등을 공부하시길 바랍니다. 삼성전자나 하이닉스 반도체 관련 블로그 찾아보시면 좋은 내용 많습니다.
다만, 클린공정 쪽으로 어필하고 싶으시면 세정의 종류, 습식세정의 종류 등을 공부하시길 바랍니다. 삼성전자나 하이닉스 반도체 관련 블로그 찾아보시면 좋은 내용 많습니다.
2022.06.13