Q. HARC 공정
HAR ETCH의 경우,
식각하게 되면 top 에서 bottom으로 갈수록 hole이 좁아지는 걸로 배웠습니다.
이 경우, 처음 설계한 Aspect ratio는 depth/bottom cd의 값 인가요 아님 depth/ top cd 값인가요??
HAR ETCH의 경우,
식각하게 되면 top 에서 bottom으로 갈수록 hole이 좁아지는 걸로 배웠습니다.
이 경우, 처음 설계한 Aspect ratio는 depth/bottom cd의 값 인가요 아님 depth/ top cd 값인가요??