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Q. photo 공정 시 PR resiude문제

미니미니뿅

안녕하세요 photo-descum-E beam-lift off 순서로 공정을 진행했습니다. 이전에는 그러지 않았는데 더 두꺼운 점도높은 PR을 사용해서 그런지 lift off후 PR residue가 심하게 남았습니다. 그리고 descum 공정이 신규로 추가된 공정과정인데 이 과정에서 고온에서 플라즈마로 진행되다보니 안그래도 두꺼운 PR인데 고온공정까지 영향을 줘서residue가 생긴것이라고 판단할 수 있을까요 ?


2024.11.03

답변 1

  • 니꿈은뭐니삼성전기
    코사장 ∙ 채택률 86%

    두꺼워서라기보단 lift-off라 nega pr자체가 박리가 posi대비 상대적으로 어렵습니다. 언급하신데로 고온공정까지 진행된다면 박리는 더더욱 어려워지는게 사실입니다. 점도와는 크게 관련성은 없습니다.

    2024.11.04


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