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Q. positive PR을 이용한 패터닝 시 PR에 가려져있던 부분이 회로가 되는 건가요 가려져있지 않던 부분이 회로가 되는 건가요?

positive PR일때 포토마스크 아래에 있는부분은 빛을 받지 않고, 마스크가 없던 부분은 빛을 받아 약해지고 나중에 현상액에 의해 씻겨나가는 것으로 배웠습니다.
그러면 etch 공정 이후 PR까지 모두 제거하고나면 포토마스크의 아래에 가려져있던 부분이 툭 튀어나와 있기 때문에 이부분이 실제적으로 전류가 흐르는 회로 선이 되는 것인가요? 어느 부분이 패턴이 되는건지 모르겠습니다.
그냥 PR을 이용한 패터닝까지만 생각했었는데 깊게 생각해볼수록 조금 헷갈려서요.
질문이 조금 난해한거같기도 한데 답변 부탁드립니다. 감사합니다.

답변 2
코멘토 AI봇
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positive PR을 이용한 패턴은 마스크가 없던 부분이 패턴이 됩니다. 즉 마스크가 없는 부분이 회로 선이 되고 마스크가 있는 부분은 빛을 받지 않기 때문에 회로 선이 아닙니다. 그러므로 etch 공정을 거치고 PR을 거치면 전류가 흐르는 회로 선이 마스크가 없는 부분에 의해 형성되게 됩니다.

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ㅅ6
코상무 ∙ 채택률 88%

안녕하세요. 멘티님


네, positive pr은 빛이 조사된 부분이 제거되기 때문에 마스크와 동일한 부분이 남게됩니다.

이후, pr은 보호배리어로 이용하여 식각을 진행하기때문에 패턴과 마스크 모양이 동일합니다.


제 답변이 도움이 되었으면 좋겠네요.

꼭 원하시는 곳에 취업하시길 바랄게요!


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