기타 · 삼성전자 / 공정기술

Q. 노광 시간이 길어 gate 패턴이 끊어진 것을

Rework를 통해 문제를 개선할 수 있는지 궁금합니다.

답변 4
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삼성전자현직
코이사 ∙ 채택률 76% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요

일부 R/W 불가능한 STEP이 있긴하지만, 다음 공정으로 넘어가기 전 발견하면 R/W은 가능합니다.


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lIIIIl
코사장 ∙ 채택률 79% ∙
회사 산업
일치

노광후에 에치를 해버렸으면 개선이 안됩니다
노광만 진행한 상태라면 재 노광을 통해서 가능합니다


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안경공대남
코상무 ∙ 채택률 68% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요.

rework를 통해 가능합니다.


기흥평택하드워커
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요.

노광 시간이 길다면 설비 레시피 측면에서 주어지는 TIME 이라는 변수를 해당 공법에 설비와 레시피 등록하는 사이트에 서로 변경을 통해 레시피를 바꿔주면 되는 것이죠. 레시피 변경은 함부로 이뤄지지 않습니다. 여러 부서와 유기적인 이야기가 합의가 되어야하고, 그 변화가 정상으로 되는지 백업를 많이 쳐야겠지요.


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