Q. 포토 공정간 PEB 여부

답변 5

• M

  Memory Department삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 82% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요! 포토 공정에서 PEB 단계에 대한 궁금증이 있으신 것 같네요. 포토 공정에서 PEB는 노광 후에 포토레지스트의 패턴을 안정화하고 최적화하는 중요한 과정입니다. 전통적으로 PEB는 패턴의 해상도를 높이고, 레지스트의 감도를 조절하여 공정 품질을 개선하는 데 사용되었죠. 하지만 최근에는 BARC를 사용하는 경우가 많아졌습니다. BARC는 반사 방지 코팅으로, 반사로 인한 패턴 왜곡을 줄여주고 PEB의 필요성을 줄일 수 있어요. BARC를 사용하면 공정 중 PEB 단계를 생략하거나 간소화할 수 있는 경우가 많습니다. 따라서, 현재의 공정에서는 BARC의 사용으로 인해 PEB 과정을 생략하거나 다르게 진행하는 경우가 많습니다. 하지만 특정 공정이나 제품에 따라 여전히 PEB가 필요할 수 있으니, 각 공정의 요구 사항에 맞춰 조절되기도 합니다. 도움이 되셨다면 채택 부탁드려요~ 응원합니다~!

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• 다

  다시 돌아온 상코미코

  코사장 ∙ 채택률 99%

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  안녕하세요 멘티님 해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다. BARC와 상관없이 PEB 공정은 아직도 사용하고 있습니다. 일부 생략을 하는 공정이 있긴 하지만 대부분 공정에서는 아직 사용하고 있습니다. 도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요! 취업에 성공하시길 바랍니다!

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• c

  cw3268도쿄일렉트론코리아

  코이사 ∙ 채택률 94%

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  바크랑 peb는 별개입니다. 답변자 중 한명이 잘못된 정보를 전달하네요

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• 메

  메에모리삼성전자

  코상무 ∙ 채택률 48% ∙

  회사

  일치

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  PEB 과정은 여전히 중요하여 거치는 것으로 알고 있습니다.

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• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 78% ∙

  회사

  일치

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  peb 와 dev는 필수입니다. posi기준으로 노광맞은 부분을 지워야하는데 그렇게 하려면 post expose bake는 꼭 해야합니다 ㅎㅎ

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