포토 공정에서 PEB(Post Exposure Bake) 과정은 일반적으로 사용되는 단계입니다. 그러나 BARC(Bottom Anti-Reflective Coating)와 같은 특정 재료를 사용할 경우, PEB 단계가 생략될 수 있습니다. BARC는 반사 방지 기능을 제공하여 노광 후의 잔여 감광제 두께를 조절하고, 이로 인해 PEB가 필요하지 않을 수 있습니다. 현업에서는 이러한 재료의 특성과 공정 요구 사항에 따라 PEB 단계를 조정하는 경우가 많습니다. 따라서 BARC를 사용하는 경우 PEB를 생략하는 것이 가능하다는 점이 중요합니다.

바크랑 peb는 별개입니다. 답변자 중 한명이 잘못된 정보를 전달하네요

안녕하세요 멘티님
해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다.


BARC와 상관없이 PEB 공정은 아직도 사용하고 있습니다.

일부 생략을 하는 공정이 있긴 하지만 대부분 공정에서는 아직 사용하고 있습니다.


도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요!


취업에 성공하시길 바랍니다!

peb 와 dev는 필수입니다. posi기준으로 노광맞은 부분을 지워야하는데 그렇게 하려면 post expose bake는 꼭 해야합니다 ㅎㅎ

PEB 과정은 여전히 중요하여 거치는 것으로 알고 있습니다.

안녕하세요!

포토 공정에서 PEB 단계에 대한 궁금증이 있으신 것 같네요. 포토 공정에서 PEB는 노광 후에 포토레지스트의 패턴을 안정화하고 최적화하는 중요한 과정입니다. 전통적으로 PEB는 패턴의 해상도를 높이고, 레지스트의 감도를 조절하여 공정 품질을 개선하는 데 사용되었죠.

하지만 최근에는 BARC를 사용하는 경우가 많아졌습니다. BARC는 반사 방지 코팅으로, 반사로 인한 패턴 왜곡을 줄여주고 PEB의 필요성을 줄일 수 있어요. BARC를 사용하면 공정 중 PEB 단계를 생략하거나 간소화할 수 있는 경우가 많습니다.

따라서, 현재의 공정에서는 BARC의 사용으로 인해 PEB 과정을 생략하거나 다르게 진행하는 경우가 많습니다. 하지만 특정 공정이나 제품에 따라 여전히 PEB가 필요할 수 있으니, 각 공정의 요구 사항에 맞춰 조절되기도 합니다.

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