직무 · 삼성전자 / 공정기술

Q. PECVD 공정 step

갸거

1. PECVD 장비로 박막 공정 진행 시에 장비 내 부산물 제거하는 step을 CLN step이라고 하나요? (직무 부트 캠프에서 그렇게 배웠는데, 어떤 사람들은 아니라고 해서요) 2. 위에 언급한 CLN step은 장비 내 부산물 제거가 맞는 것이죠? 3. 웨이퍼 세정은 세정공정에서만 이루어지는 거 맞죠?


2023.04.21

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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