Q. PECVD 공정 step
1. PECVD 장비로 박막 공정 진행 시에 장비 내 부산물 제거하는 step을 CLN step이라고 하나요?
(직무 부트 캠프에서 그렇게 배웠는데, 어떤 사람들은 아니라고 해서요)
2. 위에 언급한 CLN step은 장비 내 부산물 제거가 맞는 것이죠?
3. 웨이퍼 세정은 세정공정에서만 이루어지는 거 맞죠?
1. PECVD 장비로 박막 공정 진행 시에 장비 내 부산물 제거하는 step을 CLN step이라고 하나요?
(직무 부트 캠프에서 그렇게 배웠는데, 어떤 사람들은 아니라고 해서요)
2. 위에 언급한 CLN step은 장비 내 부산물 제거가 맞는 것이죠?
3. 웨이퍼 세정은 세정공정에서만 이루어지는 거 맞죠?
2. 플라즈마 찌꺼기를 제거한다고 표현됩니다.
3. 세정은 cleaning 조직에서 전담합니다.
2023.04.21