취업 · 삼성전자 / 공정기술

Q. Reflectometer ?

반도체 공정에서 박막 두께를 측정할 때 Reflectometer를 현업에서 뭐라고 부르나요? 리플렉토미터? 반사계? 현업 용어가 궁금합니다.

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2023.03.27

답변 5
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현업에서는 반사계로 부르기도 합니다.

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2023.03.27

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lIIIIl
코사장 ∙ 채택률 79% ∙
회사 산업
일치

간단하게 두께 측정기 또는 thickness 측정기로 부릅니다

2023.03.27

기흥평택하드워커
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요
박막 두께 측정하는게 엘립소미터 이고 리플렉토미터는 반사율 측정이라고 알고 있는데
보통 thk톡스 계측기라고 하는 것도 있습니다

2023.03.27

안경공대남
코전무 ∙ 채택률 65% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요.

그냥 그대로 부릅니다. 근데 회사마다 달라서,, 다른 회사는 어떻게 부르는지 잘 모르겠네요

2023.03.28

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코부사장 ∙ 채택률 69%

현업에서는 "Ellipsometer(엘립소미터)" 또는 "Reflectometer(리플렉토미터)"라는 용어를 사용합니다. 이 중에서도 보다 정확하게는 엘립소미터가 박막 두께를 측정하는 데에 주로 사용되고, 리플렉토미터는 반사율을 측정하는 데에 사용됩니다. 하지만 두 기기 모두 박막 측정에 사용되며, 현업에서는 두 용어를 혼용해서 사용하기도 합니다.

2023.03.27

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