직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 공정엔지니어의 역할이 궁금합니다!!
7=>5=>3나노를 도입할때마다 미세공정의 수율안정화를 위한 공정엔지니어들의 역할은 무엇인가요!?!?
포토공정에선 오버레이나 CD defect 등을 관리하는것이 맞을까요?!
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미세화가 이뤄질수록 설비 메인트에 대한 관리방법, 사용 소재에 대한 변화, 스펙의 타이트화 등으로 인해 수율관리 측면에서 지속적으로 어려워진다 보시면 되겠습니다.
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네 맞습니다. 미세화가 될수록 수율관리도 어려워지고 점점 고도화된 기술과 오차를 지켜야합니다.
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선폭이 줄었다는 것은 소자개발도 다시해야한다는 뜻입니다 공정설계 엔지니어들이 이러한 소자를 개발하고
거기에 따른 PDK 문서도 작성하여 회로설계엔지니어들에게 전달하면
그 정보를 바탕으로 leakage current 등이 회로정보를 가지고 설계를 하는거죠
거기에 따른 PDK 문서도 작성하여 회로설계엔지니어들에게 전달하면
그 정보를 바탕으로 leakage current 등이 회로정보를 가지고 설계를 하는거죠
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노드가 작아질수록 스펙도 작아지고 관리 tolerance 자체도 타이트해집니다
공정 관리하는거 자체가 더 힘듭니다
당연히 디펙 관리도 필요합니다
2021.09.09