직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 공정엔지니어 공정레시피

불량을 줄여서 수율을 높이는게 중요한데
공정레시피를 잘 작성하면 수율을 높인다고 볼 수 있는건가요?

공정레시피와 수율의 관계가 궁금합니다!

답변 4
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파일드
코이사 ∙ 채택률 71% ∙
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일치

레시피 상의 문제 때문에 wafer에 defect이나 attack이 가해진다는 사실을 규명하게 된 경우

레시피를 수정 보완하게 된다면 수율을 높일 수 있는 것이라고 이해하시면 될 것 같습니다.

감사합니다.


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삼전현직자
코부사장 ∙ 채택률 80% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요
제품의 issue나 불량같은건 레시피 수정으로 방지할 수 있으니 수율과도 관련이 있다고 보면됩니다


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l
lIIIIl
코사장 ∙ 채택률 79% ∙
회사 산업
일치

공정레시피 자체에 문제가 있어서 디펙이 생긴다면 레피시를 수정합니다
그런데 디펙이란게 케이스가 너무 다양해서 어떤 원인이라고 딱 짚기가 어렵습니다


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m
masteric
코부사장 ∙ 채택률 76% ∙
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일치

답변은 다른분들니 해주셨구요
공정 엔지니어가 각공정 8대공정별로 포토 에치 각각레시피들이 잘 완성될때 수율이 잘나오는것입니다. 공정엔지니어는 공정래시피을 완성시키는 일들을 하구요 공정엔지니어가 주로 하는일이 레시피 작업이고 이게 수율을 좋게하는 일입니다. 즉 공정레시피뿐입니다.


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