반도체 공정기술 직무에서 높은수율과 생산성을 향상시키기위해 어떤 노력을 해야하는지 궁금합니다
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백
백이당*
두산에너빌리티
코사장
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안녕하세요 멘티님,
공정기술팀은 포토(photo), 에치(etch), 씬필름(thin film), CMP(Chemical Mechanical Polishing), 클리닝(cleaning) 등 크게 5~6가지 파트로 구성되어 있습니다. 각 파트는 고유의 공정들을 진행하면서 반도체 생산에 기여하죠. 제조팀은 생산과 공정 전 단계의 웨이퍼를 최적의 상태로 플로우 할 수 있게 만들어주는 팀입니다. 수율팀에서는 이러한 공정에서 나오는 반도체들의 결함을 줄이는 일을 하고 있습니다.
수율이란, 웨이퍼 한 장에 나올 수 있는 최대 칩의 개수에 대비해 실제 생산된 양품의 칩수를 백분율로 나타낸 것입니다. 여기서는 한 장의 웨이퍼의 수율을 올리는 방법과, 웨이퍼 장수를 많이 생산하는 것 두 가지 경우를 생각할 수 있는데요. 수율이 100%인 웨이퍼 한 장을 생산하는 것과 수율이 50%인 웨이퍼 두 장을 생산할 때 얻을 수 있는 Die의 수는 같기 때문이죠. 이러한 수율을 올리기 위해서는 시간이 길어지는 등 제약이 따를 수 있는데, 이 때문에 생산성이 저하 될 수 있습니다. 따라서, 반도체 생산 업무에서는 수율과 생산성의 접점을 찾는 것이 가장 중요합니다. 최상의 수율과 품질을 유지하면서 최대의 생산성을 가지는 것이 제조·공정 부문에서 가장 초점을 두고 있는 부분입니다. 반도체 생산에서 생산량은 매우 중요한 일입니다. 하지만, 생산량을 높이는 일 자체가 수율을 낮추는 것은 아닙니다. 둘의 접점을 찾는 것이 중요해요. 엔지니어들은 생산량을 높이면서 수율을 높일 수 있는 방법에 집중합니다. 때문에 엔지니어들은 끊임없는 연구와 테스트를 통해 더 나은 조건에서 최상의 품질을 가진 반도체를 양산하고자 합니다. 만일 엔지니어힘으로 힘들 땐, 다른 팀의 도움을 받아 서로 협업을 함으로써 더욱 더 개선된 공정을 진행할 수 있도록 끊임없이 노력하고 있습니다.
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삼
삼성전자Eng`r
삼성전자
코과장
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산업
일치
안녕하세요 멘티님~ 어려운 내용은 빼고 가장 중요한 것만 말씀드리겠습니다! 보이지도 않는 반도체의 수율을 높이기 위해서 공정기술 엔지니어가 기여할 수 부분은 두께(THK)를 계측하고 실시간으로 설비 엔지니어와 소통을 통해 모니터링하는 것입니다. 증착공정의 경우 얼마나 증착되었는지 두께 (THK)를 확인하고 etch의 경우도 얼마나 식각됐는지 THK를 측정하고 photo의 경우 PR이 얼마나 도포됐는지 등등 THK를 uniform하게 관리하는 것이 중요합니다. 이러한 과정에서 temp, pressure, gas flow 등 설비적인 부분이 들어가고 이로 인해 설비 엔지니어와 소통을 할 수 밖에 없습니다. 어려운 코로나 시국에 좋은 결과 있으시길 응원하겠습니다!
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masteric
삼성전자
코부사장
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일치
높은 수율 =최고의 레시피 입니다. 각 공정담당자들은 8대공정에 맞게 포토면 포토 에칭이면 애칭 박막증착이면 박막증착등 레시피 트리밍을 진행합니다. 공정담당자가 하는 노력은 레시피 조절입니다.
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l
lIIIIl
삼성전자
코사장
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일치
본인이 담당하는 공정의 디펙을 줄이고 설정된 타겟에 맞게 공정을 만들어 주시면 됩니다 그게 공정기술 엔지니어가 수율에 기여하는 최고의 방법입니다
공정기술팀은 포토(photo), 에치(etch), 씬필름(thin film), CMP(Chemical Mechanical Polishing), 클리닝(cleaning) 등 크게 5~6가지 파트로 구성되어 있습니다. 각 파트는 고유의 공정들을 진행하면서 반도체 생산에 기여하죠. 제조팀은 생산과 공정 전 단계의 웨이퍼를 최적의 상태로 플로우 할 수 있게 만들어주는 팀입니다. 수율팀에서는 이러한 공정에서 나오는 반도체들의 결함을 줄이는 일을 하고 있습니다.
수율이란, 웨이퍼 한 장에 나올 수 있는 최대 칩의 개수에 대비해 실제 생산된 양품의 칩수를 백분율로 나타낸 것입니다. 여기서는 한 장의 웨이퍼의 수율을 올리는 방법과, 웨이퍼 장수를 많이 생산하는 것 두 가지 경우를 생각할 수 있는데요. 수율이 100%인 웨이퍼 한 장을 생산하는 것과 수율이 50%인 웨이퍼 두 장을 생산할 때 얻을 수 있는 Die의 수는 같기 때문이죠.
이러한 수율을 올리기 위해서는 시간이 길어지는 등 제약이 따를 수 있는데, 이 때문에 생산성이 저하 될 수 있습니다. 따라서, 반도체 생산 업무에서는 수율과 생산성의 접점을 찾는 것이 가장 중요합니다. 최상의 수율과 품질을 유지하면서 최대의 생산성을 가지는 것이 제조·공정 부문에서 가장 초점을 두고 있는 부분입니다.
반도체 생산에서 생산량은 매우 중요한 일입니다. 하지만, 생산량을 높이는 일 자체가 수율을 낮추는 것은 아닙니다. 둘의 접점을 찾는 것이 중요해요. 엔지니어들은 생산량을 높이면서 수율을 높일 수 있는 방법에 집중합니다. 때문에 엔지니어들은 끊임없는 연구와 테스트를 통해 더 나은 조건에서 최상의 품질을 가진 반도체를 양산하고자 합니다. 만일 엔지니어힘으로 힘들 땐, 다른 팀의 도움을 받아 서로 협업을 함으로써 더욱 더 개선된 공정을 진행할 수 있도록 끊임없이 노력하고 있습니다.
2021.08.09