직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 반도체 노광공정 시 Exposure Time에 따른 PR 두께 변화

반도체 노광공정 시, Exposure Time에 따라 PR 두께가 달라질 것 같은데, 만약 Exposure Time이 짧으면 Develop 시 PR 일부가 밑에 남아있게 되나요?

답변 4
니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

Positive pr일 경우 노광시간이 짧다면 당연히 하부 폴리머가 결합이 덜 끊겨서 현상을 하여도 잔사가 남을겁니다.


하이닉스 고인물
코상무 ∙ 채택률 76%

안녕하세요 멘티님,

PR은 투과율이 100%가 아니기 때문에 일부 빛을 흡수합니다. 따라서 멘티님이 말씀하시는 현상이 일어날 수 있습니다.


운크루
코부장 ∙ 채택률 87% ∙
회사 산업
일치

넵 맞습니다. 그래서 적절한 Exposure Time이 포토 공정에서 매우 중요한 변수 중 하나입니다!!


공정설계현직3
코전무 ∙ 채택률 80% ∙
회사 직무 산업
일치

네 그렇습니다 ET에 따라서 Develope 시 PR이 남고
심지어 Slope가 질 수도 있습니다


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