직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 반도체 노광공정 시 Exposure Time에 따른 PR 두께 변화
반도체 노광공정 시, Exposure Time에 따라 PR 두께가 달라질 것 같은데, 만약 Exposure Time이 짧으면 Develop 시 PR 일부가 밑에 남아있게 되나요?
답변
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안녕하세요 멘티님,
PR은 투과율이 100%가 아니기 때문에 일부 빛을 흡수합니다. 따라서 멘티님이 말씀하시는 현상이 일어날 수 있습니다.
PR은 투과율이 100%가 아니기 때문에 일부 빛을 흡수합니다. 따라서 멘티님이 말씀하시는 현상이 일어날 수 있습니다.
넵 맞습니다. 그래서 적절한 Exposure Time이 포토 공정에서 매우 중요한 변수 중 하나입니다!!
네 그렇습니다 ET에 따라서 Develope 시 PR이 남고
심지어 Slope가 질 수도 있습니다
심지어 Slope가 질 수도 있습니다
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2021.08.27