직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 삼성전자 공정기술 직무 희망자 pecvd 공부!

안녕하세요!! PECVD 실습을 하면서 uniform한 박막을 가지기 위해 최적의 gas조건이 있다는 것을 알았습니다. 이 최적의 gas조건일 때 MFC에서 lamina flow가 될 때 shower head에서 gas를 균등하게 배포해서 uniform한 박막이 형성된다라고 제가 이해했는데 혹시 맞나용....?
그리고 butterfly valve를 검색해보니, 유량을 조정해준다고 되어있는데, 공정을 진행할 때 압력이 지속적으로 변하기 때문에 유량을 조정해 압력이 어느정도 일정하게 유지 해주는 역할을 하는건가요?

공유

2021.09.07

답변 2
m
masteric
코부사장 ∙ 채택률 76% ∙
회사 산업
일치

여기서만 100번정도 말하는데 , 단위공정 가고싶다고 언급하는거는 별로 좋은거아닙니다 석박사 정도 되어야 경험도 많고 하니 통하는거고 붙은다음에 단위공정말하먄 됩니다.
T기술팀에서 CVD정도 한다고 알고있으면 됩니다
디테일한것은 붙은 이후에 해야합니다. 질문하신 내용은.이해하신게 맞습니다.

2021.09.08

illuza
코과장 ∙ 채택률 85% ∙
회사 산업
일치

Laminar flow는 보통은 Shower head 방식 대비 다른 방식으로 gas를 배포해주는 걸 말합니다. Shower head가 Center 중심으로 퍼지는 방식이라면, Laminar flow는 앞에서부터 뒤로 쓸어가는 방식이죠. MFC가 laminar flow가 된다는 말은 저는 솔직히 잘 모르겠네요.

그리고 말씀하신 butterfly valve는 보통은 throttle valve라고 알려져있고 압력 조절은 맞습니다.

2021.10.04

답변이 안보이시나요? 직접 질문해보세요.
글자수: 0 / 500