직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 삼성전자 공정기술 직무 희망자 pecvd 공부!

안녕하세요!! PECVD 실습을 하면서 uniform한 박막을 가지기 위해 최적의 gas조건이 있다는 것을 알았습니다. 이 최적의 gas조건일 때 MFC에서 lamina flow가 될 때 shower head에서 gas를 균등하게 배포해서 uniform한 박막이 형성된다라고 제가 이해했는데 혹시 맞나용....?
그리고 butterfly valve를 검색해보니, 유량을 조정해준다고 되어있는데, 공정을 진행할 때 압력이 지속적으로 변하기 때문에 유량을 조정해 압력이 어느정도 일정하게 유지 해주는 역할을 하는건가요?