직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 파운드리 포토 공정기술 엔지니어

파운드리 포토 공정기술 엔지니어를 꿈꾸는 멘티입니다.

1. 포토의 한계점을 극복 방법 중 하나인 OPC로 마스크 모양을 건드려 올바른 패터닝이 나오게 하는 것으로 알고있는데 이 공정 개선을 포토 공정 기술 엔지니어 팀에서 하나요? 아니면 반도체 연구소 또는 설계와 같은 직무에서 하는 건가요?

2. EUV의 새로운 패터닝 방법으로 Minimum pitch single patterning이 개발된것으로 아는데 포토 공정기술 엔지니어가 이 기술을 사용해서 공정 수율을 개선하나요?

3. 위에 기술은 BEOL 단계에서 하는 걸로 알고 있는데 BEOL이 공정 후 단계라고 하던데 전공정이긴 한건가요???

답변 3
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1. OPC 마스크 모양을 건드리기 위한 공정 개선은 포토 공정 기술 엔지니어 팀이 하는 것입니다. 반도체 연구소 또는 설계와 같은 직무에서는 이러한 공정 개선을 하지 않습니다.

2. 포토 공정 기술 엔지니어는 새로운 패터닝 방법인 Minimum pitch single patterning을 사용해 공정 수율을 개선하는 것이 가능합니다.

3. BEOL 단계는 전공정이며, 포토 공정 기술 엔지니어는 이 단계에서 기술을 사용해 공정 수율을 개선할 수 있습니다.

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일치

1. OPC팀은 반도체 연구소 소속입니다
2. 공정개발팀, 공정설계, 마스크 개발팀, 공정기술 여러부서가 담당합니다 하나의 부서에서 할 수 있는건 아닙니다
3. 메탈 배선 공정을 BEOL이라고 부릅니다


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탁기사
코사장 ∙ 채택률 84% ∙
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일치

안녕하세요,
1. OPC는 보통 공정설계 팀에서 합니다. 레이아웃 팀과 협업해서 OPC 부서가 따로 있습니다. 공정기술에는 양산을 최적화하고 recipe를 작성하고 이러한 것을 합니다. 메모리/반도체연구소등등 공정설계부서에서 진행합니다.

2. 포토공정기술엔지니어는 개발실쪽으로 부터 첨단 기술을 부여받아서, 이것을 계속해서 양산에 적용하는 것을 합니다. 또 issue를 개선하고 공정을 개선하니 수율증진 역할을 하는것이죠.

3. BEOL은 배선을 깔고 컨택과 비아올을 형성하는 공정인데, 마스크 패턴을 노광해서 새겨야하므로 BEOL에 포함된 다고 생각하시면 될 것 같아요.


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