Q. 파운드리 포토 공정기술 엔지니어
파운드리 포토 공정기술 엔지니어를 꿈꾸는 멘티입니다.
1. 포토의 한계점을 극복 방법 중 하나인 OPC로 마스크 모양을 건드려 올바른 패터닝이 나오게 하는 것으로 알고있는데 이 공정 개선을 포토 공정 기술 엔지니어 팀에서 하나요? 아니면 반도체 연구소 또는 설계와 같은 직무에서 하는 건가요?
2. EUV의 새로운 패터닝 방법으로 Minimum pitch single patterning이 개발된것으로 아는데 포토 공정기술 엔지니어가 이 기술을 사용해서 공정 수율을 개선하나요?
3. 위에 기술은 BEOL 단계에서 하는 걸로 알고 있는데 BEOL이 공정 후 단계라고 하던데 전공정이긴 한건가요???
2. 포토 공정 기술 엔지니어는 새로운 패터닝 방법인 Minimum pitch single patterning을 사용해 공정 수율을 개선하는 것이 가능합니다.
3. BEOL 단계는 전공정이며, 포토 공정 기술 엔지니어는 이 단계에서 기술을 사용해 공정 수율을 개선할 수 있습니다.
2023.03.13