직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 포토공정에서 발생하는 고질적오류?
포토공정에서 발생하는 고질적 오류나 개발단에 발생하는 오류로 뭐가 있을까요? 혹시 footing,, undercut 과 같은게 맞나요??
답변
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OPC 에서 패턴이 노치나 브리지같은 불량이 있습니다. DR검증으로 이러한 불량이 발생하지 않도록 하고 있습니다
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포토공정에서 발생하는 고질적 오류(불량은) 아래와 같습니다.
→ 패턴불량
패턴불량의 원인은 여러가지입니다. 그중에서 대표적인 원인은 ① Wafer 표면과 노광장비 사이의 거리가 지나치게 멀거나 가까울 경우 focus(초점)에서 벗어나 노광이 제대로 안되는 경우, ② 노광장비의 세기가 너무 강하거나 작아서 원하는 모양으로 패턴(Photo Resist) 노광을 타겟팅하지 못한경우.
→ 패턴불량
패턴불량의 원인은 여러가지입니다. 그중에서 대표적인 원인은 ① Wafer 표면과 노광장비 사이의 거리가 지나치게 멀거나 가까울 경우 focus(초점)에서 벗어나 노광이 제대로 안되는 경우, ② 노광장비의 세기가 너무 강하거나 작아서 원하는 모양으로 패턴(Photo Resist) 노광을 타겟팅하지 못한경우.
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파장이 작은 노광을 쓸 수록 흡수가 잘되서 PR 두꼐가 얇아지고
이로 인해 defect에 취약해지게 됩니다
말씀하신대로 footing undercut도 PR Profile 떄문에 발생할수 있습니다
이로 인해 defect에 취약해지게 됩니다
말씀하신대로 footing undercut도 PR Profile 떄문에 발생할수 있습니다
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패티닝아 안되는게 뭐 젤 많이나오는거라고 보여집니다.
2021.08.26