대학생 고민 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 포토공정에서 불충분한 develop 해결방안이 궁금합니다.

포토 과정에서 불충분한 develop이 발생했는데요.
디벨롭 타임을 증가시키거나 노광량을 증가시키는 방법이 일반적인건 알지만, PR 두께가 너무 두꺼워서 생긴 문제라고 생각하고 spin coating시 spin rate를 증가시킴으로 PR두께를 얇게 하여 이 문제를 해결할 수도 있을까요?

답변 6
코멘토 AI봇
powered by OpenAI

네, 그렇습니다. 두께가 너무 두꺼워서 디벨롭 타임이 증가하거나 노광량이 증가하는 방법을 사용하면 됩니다. 그리고 spin coating 시에 spin rate를 증가시켜 PR 두께를 얇게 하여 이 문제를 해결할 수도 있습니다. 다만, 이 방법은 제품의 색상과 보관성에 따라 다를 수 있으므로 미리 실험해보고 적용하는 것이 좋습니다.

답변이 도움이 되었나요?

액땜끝남

불충분한 develop는 어떻게 확인하셨나요??


채택
탁기사
코사장 ∙ 채택률 84% ∙
회사 직무 산업
일치

네 보통 PR이 높으면 dev에서 어느정도 시간이.필요한데 이것이 부족시 dev불량 현상이 나타나서 pr이 남게됩니다. spin rate를 증가시켜 pr을 얉게 도포할 수도 있고, pr물성을 변화시켜 (애초에소재) 소재적 관점에서 잘 녹는 pr을 이용할수도있습니다. 그리고 spin을 너무높이면 pr은 얇아지나 전기적쇼크가 발생할수있습니다.


채택
l
lIIIIl
코사장 ∙ 채택률 79% ∙
회사 산업 학교
일치

스핀 코딩시에 RPM을 증가 시키는건 균일하게 PR을 도포하기 위함입니다
PR 두께를 줄이기 위해서는 RPM 증가보다 도포양 자체를 줄이는게 맞습니다


채택
N
NICK.KIM
코이사 ∙ 채택률 80% ∙
회사 직무 산업
일치

네 그럼요, 가능합니다.

PR두께를 줄이는 방식으로 RPM 증가도 있긴한데, 근데 그런 방식은 PR 산포와 Edge 몰림성이라는 D/F이 있을 수 밖에 없기 때문에, 다른 방법도 같이 제시해주시면 좋을 듯 합니다.


채택
삼성전자현직
코이사 ∙ 채택률 76% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요

PROCESS 별 타겟팅하는 THK가 있습니다. 그렇기에 소재를 개선하거나, DEV 측면에서 개선을 할 것 같네요


답변이 안보이시나요? 직접 질문해보세요.
글자수: 0 / 500