Q. 포토공정에서 불충분한 develop 해결방안이 궁금합니다.
포토 과정에서 불충분한 develop이 발생했는데요.
디벨롭 타임을 증가시키거나 노광량을 증가시키는 방법이 일반적인건 알지만, PR 두께가 너무 두꺼워서 생긴 문제라고 생각하고 spin coating시 spin rate를 증가시킴으로 PR두께를 얇게 하여 이 문제를 해결할 수도 있을까요?
포토 과정에서 불충분한 develop이 발생했는데요.
디벨롭 타임을 증가시키거나 노광량을 증가시키는 방법이 일반적인건 알지만, PR 두께가 너무 두꺼워서 생긴 문제라고 생각하고 spin coating시 spin rate를 증가시킴으로 PR두께를 얇게 하여 이 문제를 해결할 수도 있을까요?
2023.03.24