면접 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 포토 공정 변수 관련 면접 답변 준비 중 궁금한게 있습니다.

안녕하세요, 반도체 기업 직무 면접을 준비하다가 궁금한게 있습니다.
제가 포토 공정으로 패턴을 형성하는 실습을 했었는데, 메뉴얼대로 공정을 진행했을 때, 현상 후 패턴이 끊겨서 나오는 걸 확인할 수 있었어요. 그래서 어떤 공정 변수를 조절할까 하다 처음에는 PR이 고르게 도포가 되지 않았거나 너무 두껍게 도포가 되었다 생각해 spin coating 시간을 늘리게 되었습니다. 하지만 여전히 패턴이 끊겼고, 그 다음에는 노광 시간을 조금 더 늘렸더니 패턴이 제대로 형성이 되었어요
이 경험으로부터, 그럼 왜 spin coating 시간은 영향을 안줬을까에 대해 생각해봤는데, spin coating은 특정 시간이 지나면 두께가 saturation 된다고 알고 있습니다. 그렇기 때문에 영향을 주지 않았고, 노광 시간을 늘림으로써 PR이 조금 더 빛의 영향을 받아 패턴이 깔끔하게 나왔다고 생각했는데 이게 맞는 흐름인가요,,?
납득이 가는 도출인지 너무 궁금합니다. 도와주세요 ㅜ

답변 4
i
iiiiiiiiiiiiiiiii
코이사 ∙ 채택률 63% ∙
회사 산업
일치

soc time을 늘렸을 때 PR 두께는 어찌 되나요?
PR 두께에 따른 Focus 값은 고려하시었는지.
ET를 늘리면 패턴이 작아지는게 맞습니다.


공정설계현직3
코전무 ∙ 채택률 80% ∙
회사 직무 산업
일치

실제로 spin coating 시간에 따라 PR 두께가 어떻게 바뀌었는지를 계측했어야 정확하게 알 수 있겠네요
말씀하신대로 두께 saturation되는걸 계측을 통해 확인해야 말이 됩니다
일단 말씀하신 논리적인 흐름은 말이 되긴 합니다


황금파이프
코부사장 ∙ 채택률 80% ∙
회사 산업
일치

생각하시는 게 논리적으로 맞기는 한데, 면접관 분들을 설득시키려면 어느 정도에서 두께가 saturation이 되었다라고 언급을 해주시면 더 구체적이고 논리적인 답변이 될 것 같습니다. 노광시간을 늘렸을 때 패턴이 깔끔하게 나왔다고 하셨는데 이전에는 노광시간이 부족해서 PR의 화학작용이 충분히 일어나지 않아 패턴이 제대로 나오지 않았기 때문이라고 볼 수 있습니다.
공정 결과를 개선하기 위해서 여러 공정 변수를 염두에 두고, 하나씩 따져가면서 실험을 한 모습이 좋아보입니다.


채택
개미는오늘도뚠뚠
코부사장 ∙ 채택률 75% ∙
회사 산업
일치

스핀코팅 시간과, 노광시간 간의 상관관계도 한번쯤 고려해볼 사항입니다. 면접관이 해당 에피소드로 연결지어 질문을 한다면, 정확도, 정답과 부합하는지 보단, 얼마나 논리적으로 답변을 이끌어내는지 보기위함이 우선이기 때문입니다


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