직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 포토 공정 엔지니어 직무
안녕하세요
공정에 대해 공부하다가 포토 공정에 관심이 생겼습니다. 포토 공정 엔지니어의 직무가 어떤 것인지 가능하신 선에서 구체적으로 말해주실 수 있을까요?? 포토 공정에서도 파라미터를 조정해서 공정을 최적하 하고자 할텐데 파라미터에는 어떤 것이 있을까요??
감사합니다!
답변
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포토공정에서의 레시피를 담당하는 일을 합니다.
dof peb dry/wet soft bakepr coating등 각각의.단계에 다 파라미터를 조절하는게 있습니다
dof peb dry/wet soft bakepr coating등 각각의.단계에 다 파라미터를 조절하는게 있습니다
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안녕하세요 멘티님,
포토공정은 일련의 과정이 연결되어있기에 하나의 파라미터만을 보는것이아니고, coater에서는 스핀 속도, 시간, 온도 등을 조절할 것입니다. 노광에서는 광원에따라 PR, 렌즈, 웨이퍼높이 등을 조절할 것입니다.
포토공정은 일련의 과정이 연결되어있기에 하나의 파라미터만을 보는것이아니고, coater에서는 스핀 속도, 시간, 온도 등을 조절할 것입니다. 노광에서는 광원에따라 PR, 렌즈, 웨이퍼높이 등을 조절할 것입니다.
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DOF 개선 및 parameter 수정, spin coating 회전 속도, Bake 온도 등 다양한 파라미터 들이 존재합니다.
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세부적인 것은 기술팀에서 배우셔야 할것 같아요
2021.08.30