Q. 포토 공정 중 발생한 이슈에 대한 질문이 있습니다.
안녕하세요. 포토 공정 엔지니어를 준비하고 있는 학생입니다. 공정 실습 데이터를 분석하던 중 의문이 생겨 질문을 드립니다.
포토 공정에서 pr coating recipe, develop time을 고정한 채 exposure time만 변경하며 패턴의 CD를 측정한 경험이 있습니다. 이 때 패턴의 크기가 작을 수록 exposure time에 민감하게 반응하여 CD loss가 증가하게 되는 데 그 이유를 알고 싶습니다.
2023.03.13