직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 포토 공정 중 발생한 이슈에 대한 질문이 있습니다.

세종17

안녕하세요. 포토 공정 엔지니어를 준비하고 있는 학생입니다. 공정 실습 데이터를 분석하던 중 의문이 생겨 질문을 드립니다. 포토 공정에서 pr coating recipe, develop time을 고정한 채 exposure time만 변경하며 패턴의 CD를 측정한 경험이 있습니다. 이 때 패턴의 크기가 작을 수록 exposure time에 민감하게 반응하여 CD loss가 증가하게 되는 데 그 이유를 알고 싶습니다.


2023.03.14

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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