기타 · 삼성전자 / 공정엔지니어

Q. 2nm,3nm 공정 할때 nm는 어디가 기준인가요?

안녕하세요 반도체 취준생입니다.

뉴스에서 볼 수 있는 "3nm 양산준비", "2nm 공정개발" 단어들에서 이 nm의 기준이라는 것이
cell의 Half pitch다.
최소선폭의 Half pitch다.

이런얘기를 많이 들었지만 설명해보려하니 정확히 어디라고 해야할지 애매하게 느껴져서 제가 잘 모르는것 같아 질문 드립니다.

Q1. 공정의 tech node는 정확히 어디를 기준으로 하는건가요?
Q2. 제가 아는대로 cell 최소선폭의 Half pitch라면 왜 그냥 cd나 pitch가 아니라 half pitch로 공정이름을 붙일까요?

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