Q. Wet이랑 Dry랑 CD가 다른이유가 뭔가요?
공정실습 과정에서
포토공정중 develop 후
ADI CD 측정해보고
웨이퍼 2개로
Wet이랑 dry 에치후
CD 측정했는데
WET은 타겟값보다 낮게나왔고
DRY는 타겟값보다 높게나왔는데
이런건어떤걸 고려해야하는건가요?
왜 CD가 정확히 Target값에 안맞는지 궁금합니다
그리고 ADI CD 측정해서
피치나 회로선폭이 다 설정 스펙보다 낮게나왔는데
왜그런건가요?
공정실습 과정에서
포토공정중 develop 후
ADI CD 측정해보고
웨이퍼 2개로
Wet이랑 dry 에치후
CD 측정했는데
WET은 타겟값보다 낮게나왔고
DRY는 타겟값보다 높게나왔는데
이런건어떤걸 고려해야하는건가요?
왜 CD가 정확히 Target값에 안맞는지 궁금합니다
그리고 ADI CD 측정해서
피치나 회로선폭이 다 설정 스펙보다 낮게나왔는데
왜그런건가요?