직무 · 삼성전자 / 생산기술

Q. 삼성전자 글로벌 제조 & 인프라 총괄 gcs 어떤 가스들을 다루나요?

gas. chemical 혹은 Special gas라고 주로 표기되어있는데 이에 대해 구글링 해봐도 구체적으로 어떤 종류의 가스가 사용되는지 그리고 그 가스들의 용도가 무엇인지가 잘 안나오네요.
Silane, Disilane Dichlorosilane, Chlorine trifluoride 등 이 있는 것 같은데 확신은 못하겠고 용도도 모르겠습니다. gcs에서 다루는 가스의 종류와 용도 또는 참고할만한 사이트를 알려주시면 감사하겠습니다.