취업 · 삼성전자 / 생산기술

Q. Exposure 공정에서의 align 관련 질문입니다.

P기술팀에 지원하려고 하는 학생입니다.

혹시 exposure 공정 중 wafer stage의 불량으로 인한 misalign(언라인틀러짐)이 발생하는지 궁금합니다. Mask aligner(실험실용 노광장비)로는 해당 불량 발생시 x-y 축으로 shift해서 임시방편으로 사용이 가능할까요?

답변 부탁드립니다 ㅠㅠ 기밀 사항 누설 안 하는 선에서 간단하게라도 알려주시면 정말 감사하겠습니다…

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2023.03.13

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