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Q. 삼성전자 파운드리사업부에서 Cu 배선 공정관련 질문있습니다.

안녕하세요, 삼성전자 파운드리사업부 공정기술에 지원했고, 면접을 앞두고 있습니다.

전해도금 연구를 했으며 반도체 산업에서 Cu 배선 공정을 전해도금으로 하는 것으로 알고 있어 이쪽으로 어필하려 합니다.

이에 따라 궁금한 점이 두 가지 있습니다.

1. 파운드리사업부에서 5nm/3nm 공정을 진행함에 따라서 Cu 배선 공정도 전해도금으로 계속 진행하는지
다른 증착 방식으로 사용하는지 궁금합니다.

2. Cu seed 형성하는 것도 PVD 방식으로 하는지, 무전해도금 방식으로 하는지 궁금합니다.

석사+ 중고신입에 따라서 전체적인 공정 어필보다는, 계속 공부한 도금파트로 어필하는게 낫다고 판단했고, 나노스케일 도금 커리어를 성장시키고 싶다고 어필하려 하는데, 도금 방식으로 안하면 난감해서..질문드립니다.

감사합니다.

답변 4
할수있어.
코부장 ∙ 채택률 65%

1 대외비입니다 죄송합니다
2 무전해도금 많이 해요


i
iiiiiiiiiiiiiiiii
코이사 ∙ 채택률 63% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요~

1. 선단 노드 에서 어떤 공정을 사용하는지 왜 궁금 하신지요..? 어떤 공정을 어떤 목적으로 사용한다는 것 자체가 대외비인 듯 합니다.
2. 대부분 EP 사용하고 있는 걸로 알고 있습니다.

질문에 답변이 되었기를 바랍니다~


니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

1. 나노 피치에서 플레이팅 전해도금 방식이 가능할까?라는 의심을 가져보신다면 금방 답이 나올 것 같네요.
2. 그전에 Cu를 건식 식각으로 할 수 있는게 없다는 점을 생각해보세요.


삼전현직자
코부사장 ∙ 채택률 80% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요
내부에서 이루어지는 기술방식은 당연히 대외비입니다. 내부에서 뭘 하는지가 중요한게 아닌 본인이 뭘 했는지가 중요합니다. 그냥 본인이 연구한걸 어필하면됩니다.
본인이 석사로 연구한 부분이 있다면 그쪽으로 어필을해도됩니다. 다만 공정기술인데 굳이 배선공정으로 어필하려는건 너무 범위를 혼자서 좁힌건 아닌가 생각됩니다


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