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Q. DIFFUSUION공정 질문

요즘은 확산을 IMP에서 모두 한다고 들었습니다. 그러면 DIFFUSION공정은 이젠 무슨역할을 하나요???

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2023.05.18

답변 5
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DIFFUSION 공정은 여전히 핵심적인 역할을 합니다. 확산 공정은 여전히 응용 프로그램에 다양한 기능을 제공하기 위해 사용됩니다. 예를 들어 확산 공정은 실제 생산 및 개발에 대한 생산성을 높이기 위해 사용되고 있습니다. 일반적으로 확산 공정은 반복적인 공정을 단순화하고 자동화하기 위해 사용되고 있습니다. 또한 확산 공정은 제품의 생산 과정을 간소화하고 작업자의 생산성을 높이기 위해 사용됩니다.

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2023.05.18

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l
lIIIIl
코사장 ∙ 채택률 79% ∙
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일치

SiO2, SiN 등의 막질이나 Epi 공정등을 담당하고 있습니다
High K도 디퓨젼 담당이구요
Batch 타입의 어닐링 공정도 디퓨젼에서 담당하고 있습니다

2023.05.18

댓글 0
l
liliiilil
2023.05.18
SiO2,SiN 막질이라는건,,, 디퓨전에서 절연막을 쌓는건가요??
기흥평택하드워커
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요
higk-k랑 싱글타입이 아니고 배치타입 어닐링 공정도 디퓨전에서 하지 않나요? 참고바랍니다

2023.05.19

d
dksdkffuwna
코과장 ∙ 채택률 65% ∙
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일치

안녕하세요, 보통 dni 부서 라고 하여 diffusion and implantation 업무가 같이 묶여 있습니다.

2023.05.20

r
radish
코부사장 ∙ 채택률 77% ∙
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일치

안녕하세요

해당 공정에서 확산이 추가될 뿐이지 다른 공정에서 안하는게 아닙니다.

디퓨전에서도 진행한다고 생각하시면 되겠습니다.

2023.05.20

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