기타 · 삼성전자 / 반도체설계

Q. 반도체 공정 질문

반도체 학부생인데 궁금한 점 질문드려요

1.대부분 포토 공정 실습에서 pr spin coating 하기전, HMDS를 도포할 때, vapor prime의 형태로 오븐에 하는걸로 알고 있는데
HMDS를 도포할 때, spin coating으로도 도포가 가능한가요? 실제로 이렇게 가능한지...
만약 가능하다면, 왜 대부분의 실습에서는 HMDS를 도포할 때 spin coating이 아닌, vapor prime형태로 oven에서 하는지 궁금합니다.

2. HMDS가 잘 도포 안 됐을 경우, pr 코팅이 잘 안 되잖아요?
근데 pr 코팅이 잘 된지 안 된지는 어느 단계에서 확인할 수 있는건가요?
보통 pr 코팅하고 나서 soft bake 실시해주고, 노광공정 - peb 이 순서인데 ,,
코팅이 잘 된지 안 된지도 모르고 계속 공정을 진행하는건가요..?

아직 모르는게 너무 많아서 질문드려요 ㅠㅠ

답변 4
코멘토 AI봇
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1. HMDS는 반도체 소재에 잘 침투하기 위해 vapor prime 형태로 도포하는 것이 일반적이지만, spin coating으로도 도포하는 것은 가능합니다. 단, spin coating 과정에서 HMDS가 잘 도포되기 위해서는 다양한 요소를 조절해야합니다. 따라서, 대부분의 실습에서는 vapor prime 형태로 도포하는 것이 간편하기 때문에 이를 선택합니다.

2. PR 코팅 전, HMDS를 도포하는 과정과 PR 코팅 후, soft bake 과정 모두 반드시 필요합니다. 그리고 PR 코팅이 잘 되었는지 확인하는 방법으로는 광학관찰(Optical Inspection)을 하는 것이 좋습니다. 또한 노광공정을 실시하기 전, 실험이 이루어지는 반도체 소재에 침투하는 농도 및 분포 상태를 확인하는 것도 반드시 필요합니다.

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삼성장군
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일치

1. HMDS의 목적성을 보시면 아실 수 있습니다. 친수성 소수성의 개념이고 점성이 없어 spincoating의 큰 의미가 없을겁니다.

2.실제로 반도체 트랙장비(TEL이 제일 유명함). 트랙장비에서 PR coating한 후 리소 합니다~



댓글 0
u
ujiany
2023.03.15
반도체 photo 공정에서 singe 할때 웨이퍼에 HMDS를 vapor형태로 도포해서 소수성 처리를 해주시잖아요?....
저는 실습할 때 오븐을 사용해서 vapor형태로 할라 하니까 부분 부분만 소수성 처리가 되서 PR코팅이 잘 안됐거든요....그래서 HMDS를 웨이퍼에 직접 주입해서 spin coating으로 전면적을 소수성 처리 하고 soft bake 로 날릴거 다 날리고 pr코팅을 진행했었는데 이게 다른분들도 이해가 안가시나요?.... 물론 양산단계에서는 이렇게 하지 않겠지만 실습 과정에서 한부분인데 어떤 한 현직자분께서 잘 이해가 안간다고 하셔서......

제가 코멘토에서 이 글을 보고 궁금증이 생겨서 질문듼거였습니다!
여기서 HDMS를 웨이퍼에 직접 주입해서 spin coating 했다는 말이,,
HMDS를 vapor prime 형태가 아닌, spin coating으로 도포 했다는 뜻 아닌가요???

2. 답변 감사합니다. 그건 아는데 ㅠㅠ PR coating 한 후, 어느 과정에서 PR coating이 제대로 됐는지 안 됐는지 확인할 수 있는지가 궁금합니다.
PR coating 후 노광 후 확인하는건지,, peb하고 확인하는건지 ,,
L
LKV9
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1. spin coater가 실제로 없는 경우 그렇게 진행하는 경우도 많고 실습이랑 실제 양산이랑은 동일선상에서 보시면 안될 것 같습니다 ㅎㅎ

2. PR 코팅이 안되는걸 확인할 수 있는 SEQUENCE들이 많습니다. 실제 장비를 양산에 돌리기 전에도bare 웨이퍼를 두고 체크하는 test들이 여러갠데 그 과정에서 확인할 수 있습니다. 큰 틀로 말하면 노광공정 내에서 확인할 수 있습니다.

감사합니다.
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일치

안녕하세요
1.이론과 양산 제조랑은 상이할수도 있습니다 스핀코터가 없으면 그렇게 할 수도 있는것아닐까여
2.코팅제대로 됬는지 계측스텝이 있을텐데 매번 양산랏이 할수는 없을 것으로 추정이 됩니다 설비 내 파라메타로 확인을 하던지 계측기로 할 것으로 추정이 되여


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