Q. 반도체 etch rework
정확히 왜 etch rework을 못한는지 궁금합니다.
단순히 chamber 내 모든 wafer의 칩에서 etch가 덜 된 것이라면 추가 시간을 계산해서 etch가 가능한가요?
가능하다면 위의 과정이 효율적이지 않기 때문에 안 하는 것인가요?
정확히 왜 etch rework을 못한는지 궁금합니다.
단순히 chamber 내 모든 wafer의 칩에서 etch가 덜 된 것이라면 추가 시간을 계산해서 etch가 가능한가요?
가능하다면 위의 과정이 효율적이지 않기 때문에 안 하는 것인가요?
2023.03.14