안녕하세요! 세정 설비에 대해 공부하다 궁금한 점이 있어 질문을 드리게 되었습니다. 1. 세정 설비에서 말하는 NIC Bowl, IC Bowl이 무엇을 뜻하는지 알고 싶습니다! 2. 물리적 공정에서 에어로졸을 사용하는 이유는 고속과 균일한 입자라는 이유로 사용하는지 궁금합니다! 3. 세정 설비 사용시 발생하는 오폐수를 최소화하는게 기업 입장에서 환경 뿐만 아니라 어떤 부분에서 장점이 될 수 있는지 궁금합니다! 4. 챔버를 구성할 때 맞춤형 챔버를 구성하는 이유는 풋 프린트 감소나 유지보수 편의성을 위해 다르게 하는 것인지 아니면 다른 구체적 이유를 알려주시면 감사하겠습니다! 5. 150도 이상의 고온으로 하게 되면 얻을 수 있는 장점이 무엇인지 알고 싶습니다! 마지막으로 세정 설비에 대해 학습하기 위한 사이트가 있는지 궁금합니다! 공부를 하면서 모르는 부분이 많아 간단한 질문일 수도 있겠지만, 답변 달아주시면 정말 큰 도움이 될 것 같습니다! 감사합니다!