Q. 삼성반도체 설비 밸류체인이 귱금합니다.
반도체설비 밸류체인
전공정 Photolithography - Scanner
해외 ASML*, Canon
전공정 Photolithography - Track
해외 TEL*, Screen
국내 PR Coater(감광액 도포) SEMES
전공정 Etch
해외 LAM*, TEL*, AMAT*, Hitachi
국내 습식 SEMES, 건식 APTC
전공정 Deposition (CVD/Diffusion)
해외 AMAT*, LAM*, TEL*, Kokusai
국내 PECVD,ALD주성엔지니어링, PECVD,ALD원익IPS
전공정 Cleaning
해외 Screen*, LAM, TEL, AMAT
국내 습식SEMES, 건식,습식KC Tech, 습식Zeus,건식PSK
전공정 CMP
해외 AMAT*, Ebara*
전공정 Ion Implantation
해외 AMAT*
맞나요?
2023.03.22